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XY轴TSD不锈钢直动平台
l 其基本特性,如高刚性,高承载能力,优异的直线性和精密定位性能等,和TSD直动平台一样。
l 和一般钢质或铝质平台相比,不锈钢平台有很多优点。它强度非常好,经久耐用,抗冲击,耐磨损,适用于超净工作区和真空环境。它们没作表面处理,其不锈钢测微头和导轨部采用了硅基真空润滑脂。适用于空间窄,密封性高的场合。
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