NanoMap-O三维非接触光学表面轮廓仪
我们的高分辨扫描白光干涉仪是一个最精确、易于使用的光学计量学系统。NanoMap-O系列光学轮廓仪广泛地用于表征各种表面参数,像表面粗糙、尺度、台阶高度、薄膜厚度等。所有的测量都是快的非接触的。
结合高质量的激光器、透镜、低机器噪声和技术,它能够完成二百多万像素的图像,具有0.001nm的分辨率。数据分析SPIP软件是工业上最有用的软件,广大用户能够做各种应用的表面分析。
特征
▪ 非接触基的技术
▪ 多余二百万像素的图像
▪ 0.001nm的分辨率
▪ Z轴范围从nm到50mm
▪ XY扫描范围达到150x150mm
▪ 超高分辨率数字成像传感器同工业标准比较,传递13倍的数据
▪ LED光源寿命多于15年
应用
▪ 台阶高度测量
▪ 表面粗糙测量
▪ 定量的抓和挖的特征,呈现深度、宽度和体积
▪ 平面或曲率的测量
▪ 二维薄膜应力测量
▪ 薄膜厚度
▪ 表面轮廓- 缺陷、形貌等 |