长春海洋光电有限公司
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XYZθαβ轴TSD直动平台
l 6轴方向微调精密平台。
l XY轴轴承钢制平台,Z轴薄轴承钢制平台,θ轴粗微调转动平台,小型αβ轴摆动平台,与αβ轴摆动平台组成。
l 型号末尾为SC的平台的XY轴平台的测微头在中间,末尾为ES的平台的XY轴平台的测微头在侧面。
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