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产品说明：
驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，可以用于显微镜的物镜驱动。
特点：
● 尺寸小，可进行高速高分辨率定位。
● 开环控制时的行程为100μm。
● 考虑到显微镜的种类，我们备有2种用于正置型和1种用于倒置型显微镜的标准产品。
● 和其它压电陶瓷平台类似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）实现驱动。它们具有RS232C，
GP-IB（仅FINE-503(CL)），USB接口，配合计量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可简单地构建控制需要的系统。
● 备有多种螺纹适配器，可以安装不同螺纹尺寸的物镜。
● SFS-OBL-2是采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构，和SFS-OBL-1相比，具有更好的抵抗湿度环境的性能。
技术规格参数：
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型号 |
 SFS-OBL-1
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SFS-OBL-2 |
SFAI-OBL-1R |
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行程 |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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最大可安装物镜直径〔mm〕 |
外径φ39以下 |
外径φ39以下 |
外径φ39以下 |
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外形尺寸〔mm〕 |
（W）75.5×（H）45×（D）40 |
（W）75.5×（H）55×（D）40 |
（W）60.8×（H）30×（D）40 |
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驱动方式 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
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自重〔kg〕 |
0.15 |
0.24 |
0.15 |
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理论分辨率（开环时）〔nm〕 |
1 |
1 |
约0.8 |
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分辨率（闭环时）〔nm〕 |
10 |
10 |
10 |
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直线度（Xy Xz Yx Yz）〔μm〕 |
＜1μm |
＜1μm |
＜0.2μm |
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重复定位精度〔μm〕 |
＜0.1μm |
＜0.1μm |
＜0.1μm |
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承载能力〔N〕 |
－ |
－ |
4.9（0.5kgf） |
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微小位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
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螺纹适配器 |
OBL-ADP-＊＊ |
OBL-ADP-＊＊ |
OBL-ADP3-＊＊ |
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附属件 |
电缆（2m） |
电缆（2m） |
电缆（2m），专用安装支柱4个 |
物镜用螺纹适配器：
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