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产品说明：
分别为1轴或3轴压电陶瓷平台用控制器，并内置驱动器。
特点：
● 具有数字位移传感器的输入端口，可校正电压陶瓷特有的磁滞回归特性，实现了闭环控制。
● FINE-503(CL)可通过RS232C，GP-IB或USB接口连接计算机， 通过计算机发送简单的指令就可以控制平台的定位。
● FINE-01γ不仅可以通过RS232C或USB接口接受计算机的控制，还可以直接输入一个模拟控制信号实现同步高速控制。
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品名 |
型号 |
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带模拟信号输入的1轴压电陶瓷平台控制器 |
FINE-01γ |
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3轴压电陶瓷平台控制器 |
FINE-503(CL) |
主要功能：
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型号 |
FINE-01γ |
FINE-503(CL) |
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控制器功能 |
○ |
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控制轴数 |
1 |
3 |
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内置程序控制 |
○ |
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闭环控制 |
数字位移传感器 |
性能指标：
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坐标显示范围 |
±999,999nm |
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最大设定行程 |
±999,999nm | |
