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产品说明：
大行程纳米定位平台采用了最高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。
特点：
● ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。
● ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
● 同时，其最大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。这个系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。
技术规格参数：
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名称 |
X轴平台 |
X轴平台 |
X轴平台 |
摆动平台 |
摆动平台 |
转动平台 |
转动平台 |
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型号 |
ECS3030 |
ECS3080 |
ECS5050 |
ECGt5050 |
ECGp5050 |
ECR3030 |
ECR5050 |
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闭环控制特性 |
分辨率 |
1nm |
1nm |
1nm |
0.000001° |
0.000001° |
0.00001° |
－ |
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重复定位精度 |
50nm |
50nm |
50nm |
±0.00005° |
±0.00005° |
±0.0005° |
－ |
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精度 |
＜0.01%
of travel range |
＜0.01%
of travel range |
＜0.01%
of travel range |
≒0.001° |
≒0.001° |
≒0.002° |
－ |
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开环控制特性 |
最小步进量 |
50nm |
50nm |
50nm |
0.0001° |
0.0001° |
0.0004° |
0.0002° |
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精密定位范围 |
1.6μm |
1.6μm |
1.6μm |
0.0014° |
0.0011° |
0.012° |
0.006° |
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行程 |
20mm |
50mm |
30mm |
10° |
10° |
360° |
360° |
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台面尺寸〔mm〕 |
30×30 |
30×80 |
50×50 |
50×50 |
50×50 |
30×30 |
50×50 |
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导轨形式 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
球轴承 |
球轴承 |
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自重〔kg〕 |
铝合金型 |
0.029 |
0.078 |
0.070 |
0.137 |
0.137 |
0.28 |
0.1 |
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不锈钢型 |
0.051 |
0.147 |
0.247 |
0.247 |
0.247 |
0.66 |
0.215 |
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最大速度 |
4.5mm/sec |
4.5mm/sec |
4.5mm/sec |
≒1°/sec |
≒1°/sec |
≒10°/sec |
≒5°/sec |
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承载能力（水平安装时） |
9kg |
24kg |
15kg |
1kg |
1kg |
2kg |
2kg |
注：如选购了内置传感器的型号，可实现闭环控制。下订单时，请在上面的标准型号末尾加注“/NUM”。 |
