特性

◆     纳米级分辨率

◆     无摩擦，无间隙

◆     刚度强，使用寿命长

◆     可选择位置传感功能进行闭环控制

◆     真空兼容，可在高温或低温下操作

◆     机械接头形式：螺纹，圆球，平头

应用

◆     通信，光纤调节

◆     显微镜微调，机械工程

◆     微系统技术，纳米定位技术

◆     半导体设备，精密仪器

◆     阀门（真空管）

◆     度量衡/干涉量度学

◆     生命科学/生物技术

基本参数

◆热膨胀调节系数（CTE）（轴向）：低电压栈数：–3 ppm/°K

高电压栈数：大约<+ 1 ppm/°K

◆     Defi nition的极性：（+）是指电压极性平行陶瓷的极性

                    （-）是指电压极性反平行对陶瓷的极性

◆电器电容：电器电容定值与低电压的变化有关

◆标准物质公差+/-20%

◆高功率力学材料

◆高稳定性材料