产品型号：ATLEX-500-L
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
产品特点：
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 电晕预电离
· 固态开关
· 延长动态和静态气体寿命（数月）
· 激光头容积6 L
· 全部风冷
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 集成4阀系统，便于气体处理
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准，符合RoHS规范
· 模块化设计/服务友好
产品参数：
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ATLEX-500-L产品参数
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气体介质
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ArF
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KrF
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单位
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波长
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193
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248
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nm
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高压开关技术
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固态开关
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最大脉冲能量1
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10
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15
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mJ
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最大平均功率
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4.0
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6.5
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W
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最大重复频率
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500
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Hz
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脉冲宽度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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6 x 4
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mm
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光束发散角2(V x H)
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2 x 1
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mrad
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能量稳定性（标准偏差）
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< 2
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%
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尺寸（长x宽x高）
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600 x 415 x 567
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mm
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重量
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70
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kg
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冷却
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Cooling Air / Optional Liquid
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电力需求
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230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM |
