产品型号：ATLEX-LR
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation) 而设计；激光为193nm 输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品参数：
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ATLEX-LR产品参数
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气体介质
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ArF
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单位
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波长
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193
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nm
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最大脉冲能量1
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12
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mJ
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能量稳定选项输出
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10
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mJ
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脉冲宽度2
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5
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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4 x 6
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mm
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光束发散角2(V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量稳定性（标准偏差）
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< 2
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%
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尺寸（长x宽x高）
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540 x 470 x 370
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mm
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重量
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60
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kg
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冷却
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Air
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电力需求,
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM |
