光学平板
●光学平板的两面都被精密抛光,它通常作为分光镜或窗口等透过型元件,或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。
●我们提供三种材料类型的光学平板:BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合:形状(圆形或方形),面精度(λ,λ/4,λ/10,λ/20),多种厚度和平行度。
●BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时,具有低萤光特性。
●去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。我们尽可能地控制磨料,温度和研磨过程,减少次表面缺陷。
注意
一般而言,当一束强紫外光照射玻璃时,会产生萤光,还会导致透过率下降。当用于15mJ/cm2,1 x 108脉冲,400Hz的248 nm的KrF激光时,10 mm厚的准分子激光用熔融石英玻璃可以满足99.8%的内部透过率。但是,这些条件不保证材料在248 nm时不产生萤光。
材料 |
OPB:BK7
OPSQ:SFS(人造熔融石英)
OPSQK:准分子激光用人造熔融石英 |
面精度测量用波长 |
632.8nm |
平行度 |
≤3分 |
面精度测量法 |
Zygo激光干涉仪 |
有效尺寸范围 |
实际尺寸的90% |
表面质量 |
OPB:10-5
OPSQ、OPSQK:20-10 |
类型 |
圆形、方形 |
尺寸 |
可根据客户要求订做 | |